مواد سرامیکی حلقه متمرکز کاربید سیلیکون
مواد سرامیکی حلقه متمرکز کاربید سیلیکون با توسعه فناوری نیمه هادی، اچ پلاسما به تدریج به یک فناوری تبدیل شده است که به طور گسترده در فرآیندهای تولید نیمه هادی استفاده می شود. پلاسمای تولید شده توسط پلاسما اچ بسیار خورنده است و همچنین باعث خوردگی جدی در حفره محفظه فرآیند و اجزای موجود در



