کاربرد سیلیکون کاربید بر روی دیسک سنگ زنی

کاربرد سیلیکون کاربید روی دیسک
سنگ زنی دیسک سنگ زنی. دیسک های سنگ زنی تجهیزات فرآیند مهمی برای تولید ویفرهای سیلیکونی برای VLSI در صنعت نیمه هادی ها هستند. دیسک های سنگ زنی ساخته شده از سرامیک کاربید سیلیکون را می توان به دلیل سختی زیاد دیسک های سنگ زنی و ضریب سایش پایین و انبساط حرارتی ویفرهای سیلیکونی با سرعت زیاد آسیاب و صیقل داد. به خصوص در سال های اخیر ، اندازه ویفرهای سیلیکونی بزرگتر و بزرگتر شده است ، که الزامات بالاتری را در کیفیت و کارایی آسیاب ویفر سیلیکون مطرح می کند. استفاده از دیسک های سنگ زنی سرامیکی کاربید سیلیکون کیفیت و کارایی آسیاب ویفر سیلیکون را تا حد زیادی بهبود می بخشد.